Halfgeleidertechnologie van ZEISS aan boord

Innovatieve technologie met precisieoptica

De invloed van de in prestatiekracht alsmaar toenemende opslagmedia en processoren of chips in ons leven blijft maar groeien. Het maakt precisie op zeer kleine oppervlakken mogelijk. Chipfabrikanten in de halfgeleiderindustrie zijn voor optische-lithografietoepassingen zeer sterk afhankelijk van de extreem goed presterende lenzen van ZEISS. De oplossing vormt de kern van fabrieksmatige chipproductie.

Op bovenstaande afbeelding staat een lithografielens afgebeeld. Een werknemer van Carl Zeiss houdt een wafel vast waarin zijn gezicht wordt weerspiegeld

Op bovenstaande afbeelding staat een lithografielens afgebeeld. Een werknemer van Carl Zeiss houdt een wafel vast waarin zijn gezicht wordt weerspiegeld

Als iemand met de knowhow van tegenwoordig zou terugkijken naar de tijd dat Carl Zeiss en Ernst Abbé de onderneming hebben opgericht, zou precisieoptica een cruciale technologie zijn geweest.

 

De grenzen aan de mogelijkheden in fundamenteel onderzoek zijn gaandeweg steeds verder opgeschoven. Als gevolg daarvan moesten ook de fabricagemethoden voor dat onderzoek en de daarvoor benodigde optische instumenten verder worden ontwikkeld om deze ontwikkeling bij te kunnen houden. Carl Zeiss was en is een pionier op dit gebied.

 

De alsmaar toenemende behoefte om steeds meer informatie op kleinere media op te slaan in combinatie met de steeds hogere snelheid waarmee gegevens worden verzonden waar ook naartoe, vergt van de micro-elektronica-industrie dat zij steeds dichter opeengepakte elektronische componenten met steeds kleinere structuren gebruikt.

 

Chips hebben een structuur met afmetingen van minder dan 100 nm (= één tiende micron). Aan deze ontwikkeling lijkt nog geen eind te komen. Op het gebied van de fabrieksmatige productie van chips, die alleen mogelijk is gemaakt dankzij de optische systemen van ZEISS, moeten met name kwaliteits- en procescontrole gelijke tred houden met deze ontwikkeling.

Controle is belangrijk...

omdat wanneer tijdens de blootstelling fouten in de zogeheten dradenkruizen ontstaan die tijdens de seriële productie worden overgebracht op de chips, dit betekent uiteraard dat er op grote schaal functies met gebreken optreden. Er is nauwelijks een voorstelling van te maken wat dat betekent voor productiviteit en kosten wanneer zo'n fout pas wordt ontdekt nadat enkele duizenden onbruikbare chips zijn vervaardigd.

De mogelijkheid om in een vroeg stadium fouten te ontdekken en te verhelpen is hierom zo nodig. Hoe kleiner en krachtiger de chips, des te belangrijker het is om de dradenkruizen zeer nauwkeurig op afwijkingen te controleren voordat ze in grote hoeveelheden worden geproduceerd. Dit gebeurt met lenzen van de hoogste kwaliteit.

Deze website maakt gebruik van cookies. Cookies zijn kleine tekstbestanden die door websites op uw computer opgeslagen worden. Cookies worden veelvuldig gebruikt en helpen webpagina's met een geoptimaliseerde weergave en het verbeteren daarvan. Door gebruik te maken van onze webpagina's gaat u daarmee akkoord. meer